我国成功研发自主光刻机技术实现新突破

我国成功研发自主光刻机技术实现新突破，意义、现状与展望，一、引言在当今全球化竞争日益激烈的背景下，芯片制造技术成为衡量一个国家科技实力的重要指标之一，而光刻机作为芯片制造的关键设备，在半导体产业中占据...